氙氣EUVLAMP是放射172nm的真空紫外線燈管。

利用172nm及大氣中發(fā)生的臭氧，運(yùn)用于半導(dǎo)體晶圓或液晶玻璃基板的表面光洗凈。

另外，在樹(shù)脂或橡膠材料的表面改質(zhì)上也有使用。

發(fā)光長(zhǎng)276mm、580mm、1130mm、1530mm等均可提供。

用途

1．FPD（LCD或PDP等）的VUV/O3洗凈（去除有機(jī)物）；

2．半導(dǎo)體的VUV/O3洗凈（去除有機(jī)物）及表面改質(zhì)；

3．各種光化學(xué)實(shí)驗(yàn)玻璃膜的粘合；

4．表面改質(zhì)；

5．光阻材料殘?jiān)幚恚?

6．除電等。

高輸出低壓紫外線燈管是一種管式、燈弧長(zhǎng)較長(zhǎng)、

能放射波長(zhǎng)185nm和254nm的紫外線燈管。

需要光洗凈、光處理等強(qiáng)力紫外線為用途的最優(yōu)光源、

其次在上下水道的凈化，殺菌等大范圍用途下有使用。

用途

1．FPD（LCD或PDP等）的VUV/O3洗凈（去除有機(jī)物）；

2．空氣、水體殺菌消毒。

凈水·殺菌裝置

FPD用光洗凈裝置

低壓紫外線熒光燈管（UV-FL）能放射波長(zhǎng)300~400nm的紫外線。

特征：1、照射波長(zhǎng)能夠選擇；2、一般用熒光燈管的燈具可以使用；

3、根據(jù)要求，燈管管長(zhǎng)可以進(jìn)行選擇。

用途

1．液晶面板的光配向膜制造工程用；

2．膜的表面處理用。

228燈露光裝置

高壓UV燈管分長(zhǎng)弧的高壓與短弧的超高壓；

長(zhǎng)弧系列為放射254nm與365nm的高壓UVLAMP（1~3氣壓）；

在水銀蒸氣中進(jìn)行電弧放電的是高壓水銀燈；

封入金屬化合物，在長(zhǎng)波長(zhǎng)領(lǐng)域中較大范圍發(fā)光的是金屬鹵素?zé)簦?

壽命保證：1000Hr 維持率70%以上（燈管的冷卻條件不同而有變動(dòng)）

用途

1．紫外線固化、干燥用；

2．ODF固化用；

3．PSA裝置搭載燈管；

4．印刷、填充裝置用。

發(fā)光長(zhǎng)（mm）

100-1850

管徑（mm）

Φ23、Φ25、Φ27.5

燈電壓（V）

100-2900

燈電流（A）

燈管功率（W）

1K-33.6K

中心波長(zhǎng)（nm）

超高壓UV燈管是短弧類(lèi)型；

放射365nm（i線）、405nm（h線）、436nm（g線）的燈管；

燈管功率：250W、750W、1000W等

用途

1．半導(dǎo)體制造的曝光裝置或液晶的周邊曝光用；

2．DVD、B-Ray等的粘合、連接用；

3．精密部品、晶片等的連接。

曝光裝置

1.豐富實(shí)績(jī)

2.高品質(zhì)

3.Module對(duì)應(yīng)

4.Custom對(duì)應(yīng)

5.Cost對(duì)應(yīng)

中國(guó)大陸、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣都有制造商長(zhǎng)期使用東芝各種UVLamp，有著豐富的市場(chǎng)實(shí)績(jī)。

生產(chǎn)工藝復(fù)雜，技術(shù)要求高，東芝長(zhǎng)期培養(yǎng)的光學(xué)技術(shù)和制造訣竅，可提供日本制造的高品質(zhì)UVLamp。

可提供使用光學(xué)、散熱、機(jī)械、電源等各種設(shè)計(jì)技術(shù)的裝置；具備各種光源Line Up，提供多種解決方案。

東芝高品質(zhì)紫外光源加工定制服務(wù)，能夠符合貴司使用狀況的調(diào)整對(duì)應(yīng)，有問(wèn)題可與我們聯(lián)系解決。

推進(jìn)零部件·制造方法的優(yōu)化、自動(dòng)化設(shè)備的引進(jìn)、提出符合用途的規(guī)格，有助于降低運(yùn)行成本。

① 使用目的燈的種類(lèi)

② 必要的紫外線量

③ 燈的外形（全長(zhǎng)?管徑?有效發(fā)光長(zhǎng)?燈頭形狀等）

④ 電氣特性（額定電壓?額定電力）

⑤ 給電方式（逆變器or 電磁式）

⑥ 使用環(huán)境

采用的紫外線光源應(yīng)該能夠最大限度放射被照射物所需要的波長(zhǎng)（＝吸收波長(zhǎng)）→ 制造效率UP → 減少成本